擴(kuò)散硅壓力變送器的工作原理

壓力變送器主要特點(diǎn)抗過載和抗沖擊能力強(qiáng)，過壓可達(dá)量程的數(shù)倍，甚至用硬物直接敲打測量元件也不致使其損壞，且對測量精度毫無影響；
穩(wěn)定性高，每年優(yōu)于0.1%滿量程，這個(gè)技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到智能 型壓力儀表水平；溫度漂移小，由于取消了壓力測量元件中的中介液，因而傳感器不僅獲得了很高的 測量精度，且受溫度梯度影響極小；
壓力變送器適用性廣、安裝維護(hù)方便、可任意位置安裝。

將水壓這種壓力的力學(xué)信號 轉(zhuǎn)變成電流（4-20mA） 這樣的電子信號
壓力和電壓或電流大小成線性關(guān)系，一般是正比關(guān)系。
所以，變送器輸出的電壓或電流 隨壓力增大而增大。
由此得出一個(gè)壓力和電壓或電流的關(guān)系式：
壓力變送器的被測介質(zhì)的兩種壓力通入高、低兩壓力室，低壓室壓力采用大氣壓或真空，作用在δ元件(即敏感元件)的兩側(cè)隔離膜片上，通過 隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測量膜片兩側(cè)。壓力變送器是由測量膜片與兩側(cè)絕緣片上的電極各組成一個(gè)電容器。 當(dāng)兩側(cè)壓力不一致時(shí)，致使測量膜片產(chǎn)生位移，其位移量和壓力差成正比，故兩側(cè)電容量就不等，通過振蕩和解調(diào)環(huán)節(jié)，轉(zhuǎn)換成與壓力成正比的信號。
擴(kuò)散硅壓力變送器能與各種型號的動圈式指示儀、數(shù)字壓力表、電子電位差計(jì)配套使用，壓力變送器也能與各種自動調(diào)節(jié)系統(tǒng)或計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配套使用。
擴(kuò)散硅壓力變送器通過溫度傳感器把溫度信號變?yōu)殡娦盘枺儆汕爸梅糯笃靼汛穗娦盘柗糯鬄V波，送往CPU的A/D 轉(zhuǎn)換模塊進(jìn)行模擬量到數(shù)字量的變換，最后由CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并顯示及PWM輸出。原理框圖如下：
被側(cè)介質(zhì)--->傳感器--->電子線路--->輸出信號
被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴(kuò)散硅膜片/上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移，正常工作狀態(tài)下，膜片最大位移不大于0.025毫米，電子線路檢測這一位移量后，即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)測量信號。超壓時(shí)膜片直接貼到堅(jiān)固的陶瓷基體/擴(kuò)散硅上，由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米，因此過壓時(shí)膜片的最大位移只能是0.1毫米，所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會產(chǎn)生過大變形，該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。